自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G4

自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G4 由奥地利alicona公司研发生产,是一款用于实验室研究和生产控制的高分辨率光学三维表面测量仪,它将形貌测量和粗糙度测量完美地结合在同一个系统中,垂直分辨率达10nm。

自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G4的主要功能:

  • 表面形貌测量
  • 粗糙度测量
  • 表面纹理测量
  • 体积测量
  • 二维图像测量
  • 重复性测量任务的编程操作
  • 形状测量
  • 偏差测量
  • 轮廓测量
  • 刃口测量

自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G4的技术参数:

位移范围(X、Y、Z轴):100×100×100mm
样品表面结构:表面形貌Ra>10-15nm,Lc=2µm
最大样品高度:100mm-240mm
最大样品倾斜角:85°
最大扫描高度:22mm
最佳垂直分辨率:10nm
最大扫描面积:10000mm2
最大单一扫描范围:100mm
最小测量粗糙度(Ra):30nm
最小测量粗糙度(Sa):15nm
最小测量半径:1µm
最小测量角度:20°

 

自动变焦三维表面测量仪
InfiniteFocus G4的主要特点:

能够同时测量形貌和粗糙度
能够测量小半径和小角度
能够测量超过80°的斜面
标准真实的颜色信息
提供360°的形状和粗擦度测量
检测具有不同表面特征的表面